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  • 研磨抛光液过滤

  • 研磨抛光液可分为研磨液和抛光液。一般研磨液用于粗磨，抛光液用于精密磨削。半导体行业CMP工艺对抛光液杂质要求苛刻，抛光液所含的化学颗粒是非常细的，达到纳米粒径，研磨液多为微米粒径。研磨液和抛光液整个传输和应用流程都会用到滤芯进行过滤，主要是对研磨液和抛光液中的颗粒进行过滤除杂。
  • 主要特点

  • 囊式过滤器体积小

    过滤介质损失小

    一体式、安装方便节约使用成本

  • 0571-87022016
    • 详细信息 在线留言
    材料结构 操作条件 绝对过滤精度(um)
    滤材: PP、PES、PTFE、PVDF、N6、N66、MCE
    壳体: 聚丙烯
    密封技术: 热熔焊接
    		 工作温度：≤60℃
    可耐最大压差：4 bar (21℃)
    灭菌方法：121℃/30min蒸汽灭菌

    0.05、0.10、0.22、0.45、1.00、5.00
    有效过滤面积
    0.11㎡/0.22㎡


    进出口方式 滤芯尺寸  
    螺纹式：1/4"NPT、3/8"NPT 、1/2"NPT
    插管式：1/4"宝塔接头、3/8"宝塔接头、1/2"宝塔接头
    快装式：0.5"卡盘接头、1"卡盘接头
    		 长度（内芯）: 2.5"、5 "
    应用领域

    电子行业：研磨液过滤，抛光液过滤，光刻胶过滤，电子化学品过滤。
    制药行业：小流量液体过滤，溶剂样品过滤。


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